勀杰科技团队 整理

在高分辨率电子显微镜检测中，影像质量的不稳定，往往不是仪器本身的问题，而是环境干扰造成的。 震动、磁场与噪音等看不见的因素，可能让影像模糊、分辨率下降，甚至导致量测误差。

勀杰科技携手英国Spicer Consulting，为国内外实验室、半导体厂与高校科研单位提供环境量测与主动式消磁器整合方案，协助用户打造稳定可靠的电子显微影像环境，让仪器效能充分发挥。

当影像模糊，不一定是显微镜的错

许多研究单位在安装SEM或TEM后，会发现影像出现漂移、抖动或细节不清。多数人会直觉怀疑仪器设定不当，但实际上——真正的原因常来自于环境。来自建筑结构的低频震动、配电系统与电梯机房产生的磁场变化，甚至周边捷运运行的扰动，都可能在不知不觉中影响电子束的稳定性。

在纳米级成像时，任何微小的环境变化都会被放大。 若要确保设备维持最高解析效能，环境控制是关键的第一步。

磁场干扰：电子显微镜的隐形敌人

影像漂移的关键因素

在半导体制程、材料研究与电子束微加工领域中，SEM、TEM、FIB、EBL等设备对外部磁场极为敏感。

磁场可能来自都市环境中的车辆移动、捷运运行、电梯作，或是室内电力系统与机械设备。这些干扰会造成电子束偏折，使影像出现漂移、扭曲或分辨率下降，进而影响量测精度与检测效率。

主动式消磁器：稳定成像的核心技术

Spicer Consulting 主动式消磁器（SC22、SC24、SC26）采用先进三轴实时补偿技术，能在不到 100 微秒内改善外部磁场干扰，稳定电子束轨迹，确保 SEM、FIB、TEM 成像始终清晰稳定。

系统特性：

• 全频补偿能力：涵盖DC至 60 kHz 频率范围
• 三轴独立补偿：X、Y、Z 三轴高功率控制，有效抑制磁场梯度
• 智能自动校正功能：实时量测 → 控制回馈 → 自动调参
• 远程监控与安全管理：支持乙太网络远端操作与即时监控
• 弹性安装方式：框架式线圈或定制化room coil配置

相较于传统被动式消磁设备，Spicer主动式消磁器具有更高的干扰抑制效率、更低的维护需求与卓越的长期稳定性。 即使在高磁场梯度的复杂环境中，也能维持最佳成像效能。

震动与噪音：被忽略的影像杀手

地面微震：成像晃动的无形力量

建筑结构、空调压缩机、行人走动等都可能产生低频震动。 这些能量通过地面传导至电子显微镜，使高倍影像产生晃动或重影。 Herz主动式防震台可有效吸收并隔离震动，确保影像稳定与量测精准。

声音波动：让显微镜“感冒”的隐性干扰

高频噪音会影响电镜成像，导致影像不稳。 透过电镜防噪音箱，可显著降低此类干扰，让电子显微镜维持在最佳条件下运作。

全球验证的稳定实绩

Spicer Consulting 主动式消磁器已于全球累积超过上千套安装案例，广泛应用于半导体制造、材料科学研究与精密检测环境。

合作客户包含：TSMC、Micron、SMIC、合肥长鑫、中研院、北京大学、菲律宾医院、新加坡AMD等国际顶尖机构。

台湾案例分享

台湾某大学材料系实验室在设备迁移后，SEM影像出现严重晃动。 经勀杰科技专业团队现场量测，发现实验室磁场严重超标。 安装 Spicer主动式消磁器 后，图像即恢复稳定。

为什么选择 勀杰科技 x Spicer

35 年以上专业经验：专注电子束仪器磁场干扰控制
全球领导品牌：国际半导体与研究机构一致采用
技术创新持续升级：SC 系列持续优化性能与智能化控制
在地专业支持：由勀杰科技提供安装、维护、客制化方案与教育训练

结语：精准影像，从稳定环境开始

在纳米与亚纳米级研究时代，任何微小的外部扰动都可能影响实验成果。要让SEM、TEM、FIB等设备发挥极致性能，环境控制是关键基础。

勀杰科技拥有多年现场经验与原厂技术支持，提供从环境量测与分析、主动式消磁器、防震系统到长期监控的一站式整合方案，协助客户打造稳定可靠的显微影像环境，让每一次成像都精准无误。

📞 立即联络我们，安排现场磁场检测与客制化环境评估，让您的电子显微镜以最佳状态运作，充分展现真正的解析度。

如果您对主动消磁器与勀杰科技多维抑制方案有任何疑问，请立即与我们联系！