在半导体产业中，电子显微镜是品质控管(Quality Control，简称QC)的重要工具，工程师们透过电子显微镜对晶片做微观结构分析，找出可能存在的问题与缺陷，以优化产品制程。随着微电子元件、微控制器的「微」时代来临，半导体制程需要更高倍率、更高解析的成像品质。然而，来自于外部环境的众多干扰，让高解析度成为一项挑战。