文╱勀杰科技团队
在实验室、半导体厂或地铁附近,你是否遇到过电子束设备因强烈的电磁干扰而出现图像分辨率不佳?本文将带你认识SPICER Consulting主动式消磁器,了解它如何在复杂的磁场环境中保护高科技仪器。
Spicer Consulting 主动式消磁器是什么?
简单来说,这是一款高效的电磁干扰抑制设备,广泛应用在大学实验室、半导体制造工厂及靠近地铁的实验场所。通过一套智能系统,实时监测外部电磁干扰,并生成反向磁场,有效抵消干扰,使得扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)等高精密仪器免受 EMI(电磁干扰)的影响。
主要特點
1.有效解决电磁干扰问题:该设备可确保 SEM/FIB/TEM 等精密仪器在受到外部环境电磁干扰时,仍能保持高品质成像。
2.智能远程监控:采用智能监控系统,能够实时记录环境数据,用户可随时掌握设备状态,实现远程作和管理(需搭配SC软件)。
3.广泛应用于半导体制造业:针对半导体制造过程中的磁场干扰问题,SC26型主动式消磁器可有效抵御高架天车系统产生的9000Hz磁场,保障电子束设备的稳定运行。
常见电磁干扰来源
● 近距离照明设备、空调等电器
● 周围运作的精密仪器
● 移动中的大型金属物体(如汽车、电车、地铁、电梯等)
● 电缆、配电箱及变压器
● 铁制结构框架与接地线
安装模式
1. 房间型:适用于TEM或新建实验室、大型科研空间。
2. 框架型:适用于各类仪器,包括电子显微镜(SEM)、电子束光刻机(EBL)、晶圆级关键尺寸测量设备(CD-SEM)等。
消磁原理
主动式消磁器能够实时监测环境磁场,并在极短时间内生成一个反向磁场,精确抵消干扰源,使仪器免受磁场影响。
实际案例
案例1:某知名大学实验室
某大学物理实验室在安装了一台高端 TEM之后,发现设备受到地铁经过时的磁场干扰,导致成像质量下降。 在安装SPICER Consulting的主动式消磁器后,实验室成功消除了地铁引起的磁场波动,保证了实验数据的稳定性。
案例2:半导体制造工厂
某半导体公司在其生产线中引入新的光刻机,但设备运行时受到了周围电源线路和变压器产生的磁场干扰,影响生产精度。 通过安装框架型主动式消磁器,该公司大幅提升了设备的精度和生产良率。
评估与实施
在安装前,需要专业人员进行现场测量和评估,并根据实际情况提供最佳解决方案。 SPICER Consulting的主动式消磁器为科研和制造提供了可靠的电磁保护,确保高精密设备稳定运行,提高实验和生产的可靠性。
通过主动式消磁器的应用,我们可以有效规避电磁干扰带来的影响,确保高科技设备的精准运行,从而推动科学研究与工业生产的顺利进行。
如果您有主动式消磁器相关问题,欢迎立即与我们联系!
