在许多情况下，我们必须对环境做量测或监控，以确保环境在符合标准的磁场、震动、声波等范围内。例如：在安装电子显微镜、电子束微影系统、CD-SEM 和聚焦离子束显微镜等仪器之前的环境评估、找出实验室设备运作问题的原因、长期维持敏感设备稳定度等等。

2023年半导体虽然面临后疫情时代的市场挑战，先进制程微缩仍是半导体制造业的发展趋势，其中电子束微影（Electron Beam Lithography，简称EBL）更是具潜力发展的技术之一，其应用范围包含：微小电子元件、生物芯片、光学元件、量子器件、奈米结构材料、微型机械结构等领域。因此，如何在复杂技术中提高良率以降低成本，解决电磁干扰等环境问题至关重要。