文╱勀杰科技团队
随着半导体制程迈向奈米级精密度，电子显微镜等高分辨率仪器的成像质量与环境稳定性需求大幅提升。SPICER CONSULTING推出的 SC24 Plus主动消磁器双机强化版，不仅突破传统消磁技术的瓶颈，更整合多重环境监控与智能警示系统，成为电子束仪器领域的关键解决方案。以下从其核心功能、监控能力及应用效益三方面进行深入探讨。
主动消磁技术：提升电子束成像精度的关键
电子束仪器（如SEM、FIB、TEM、EBL、CD-SEM）的分辨率极易受环境磁场干扰（EMI）影响，AC交流磁场会导致图像边缘毛刺，而DC直流磁场则可能引发波浪状线条失真。SC24 Plus 透过以下技术实现动态消磁：
双频段覆盖：可消除DC-5000 Hz的直流磁场及AC交流磁场，覆盖常见干扰源如电梯、地铁、电线或周遭设备。
超高速反应：动态响应时间小于100微秒，实时产生反向磁场抵消外部变化，确保电子束轨迹稳定。 此技术显着降低影像失真，使电子显微镜能维持最高分辨率，尤其在半导体QC检测中，可提高电子束仪器成像的质量及效率
全方位环境监控：长期稳定性的守护者
SC24 Plus不仅止于消磁，更整合5种环境参数监测系统（磁场、震动、噪音、温度、湿度），实现全周期数据追踪与预警：
多源头同步监测：透过搭配不同种类传感器，系统可同时显示多种报表数据，例如震动频谱、温湿度趋势等，协助用户掌握环境变化。
24小时不间断纪录：长期数据累积有助于分析干扰源周期性，例如辨识厂房设备运转或交通尖峰时段的磁场波动，进而制定改善策略。
远程实时管理：支持乙太网络连接，工程师可远程查阅监控数据，无需亲赴现场即可诊断问题，大幅缩短故障排除时间。
此功能尤其适用于需严格控制环境的无尘室或精密实验室，确保电子束仪器在最佳条件下运作。
智能警示与快速应变：降低停机风险
SC24 Plus 的智能警报系统结合硬件与软件设计，实现实时预警与快速应对：
可视化警示灯：当任一监测参数超出预设范围（如磁场突变或震动超标），系统会立即将状态灯由绿转红，操作人员可迅速定位问题。
自定环境规范：用户可根据不同仪器环境要求设定触发条件，例如设定TEM的震动要求高于SEM，以匹配其高精度需求。
历史资料回朔：若发生成像异常，可调用警报前后的环境数据，快速厘清是否为外部干扰或设备故障，避免无谓的停机检修，此机制有效减少因环境波动导致的非计划性停机。
結論
SPICER CONSULTING SC24 Plus 透过「动态消磁」与「智能监控」的双重创新，重新定义了电子束仪器的环境控制标准。其整合性设计不仅解决传统EMI问题，更以数据驱动的警报系统优化电子束仪器操作稳定，成为高阶精密制造与科研领域不可或缺的关键设备。未来，随着工业4.0对实时数据的需求增长，SC24 Plus 的远程监控与分析功能将进一步推动智能化实验室的发展。
如果您对主动消磁器的服务有任何疑问，请立即与我们联系！
