文╱勀杰科技团队
一款创新监测系统（SC28 监测系统，Spicer Consulting）已经上市，该系统可连续记录三轴磁场和地面振动，以及声级、温度和湿度。此系统可透过连接到相同局域网络的计算机进行控制，所有收集到的信息均由软件自动储存在带有日期戳记的档案中。此程序也可用于定义环境参数，例如最小值/最大值，或最大振幅与频率的频谱。软件会不断将每个参数的测量值与使用者定义的参数进行比较，并将实时结果显示在一个小窗口中。
SC28可设定为在任何参数超出允许范围时向用户发送电子邮件。此操作可以一次执行，也可以按指定频率执行，以确保及时处理问题。此外，还可以使用交通号志发出视觉警告，这在半导体生产等制造环境中非常有用。
此程序支持六种尺度和三种不同格式—示波器、频谱和图表—最多可同时显示 14张图表（见图1）。专用工具SCplot还允许使用者处理大型数据集，并以可视化的方式呈现长期环境参数的变化。例如，图2显示了从335个档案（每个档案近70 MB）中提取的一周磁场数据，每个档案包含30分钟的记录，以每秒一个点的速度记录 3轴磁场、3轴振动、声学、温度和湿度。这些图可以储存为图像或附加到文本文件以简化报告。此外，SCplot支持宏脚本，允许用户保存命令序列并在稍后重新运行。
EM 制造商和用户共享的解决方案
电镜工具通常用于依赖精确高质量影像的应用，例如高级研究或半导体产业的检测和质量控制，因此保护它们免受环境干扰至关重要。遗憾的是，电磁系统的用户通常无法立即识别外部干扰，并且可能需要一些时间才能确定影像失真的根本原因，从而延误研究或制造活动。
SC28监控系统可为这些工具提供全天候 (24/7) 环境监控，并协助快速诊断由外部干扰引起的问题。它还可以用作警报系统，持续将测得的环境读数与显微镜规格或用户设定的数值进行比较，允许本地可见警告，并在参数超出规格时发送错误报告。这让电磁操作员对其仪器的长期稳定性完全放心。
SC28不仅对电镜操作员有用，电镜制造商还可以使用它来收集仪器数据并将其上传到云端，以便服务工程师在电镜影像分辨率出现问题时进行远程分析。这可以帮助工程师快速确定问题是与环境还是仪器本身有关，从而确保尽快发现并解决问题。电镜制造商还可以使用SC28在仪器组装过程中监控环境条件，以帮助诊断和解决意外外部干扰造成的问题。
结论
质量控制活动依赖重要的性能数据，而持续环境监测解决方案的引入将带来重大变革，有助于确保电子显微镜和光刻系统的运作标准。SC28 可连续监测振动、磁场、声波、温度和湿度，无需使用者干预，有助于识别外部干扰（无论是持续、间歇或瞬态干扰）导致的潜在分辨率问题，并帮助用户更好地控制其制程和环境。
如果您对SC28监测系统电子显微镜成像服务有任何疑问，请立即与我们联系！
