SC24主动双消磁系统：解决磁场梯度问题的最先进解决方案

文╱勀杰科技团队

随着电子束技术向更高解析、更小尺寸迈进，设备对安装环境的磁场稳定性提出了前所未有的要求。无论是在科学研究、半导体制程，或是高端量测应用中，磁场干扰尤其是磁场梯度（Magnetic Field Gradient）已成为影响仪器性能的限制因素。

SPICER CONSULTING SC24 主动双消磁系统正是针对这些环境挑战所设计，提供一套可实时补偿、精准稳定的主动磁场控制解决方案，有效取代或补强被动磁屏蔽，并大幅提升仪器效能与可靠性。

磁场梯度对电子束仪器的影响

磁场梯度会导致电子束在空间中发生非均匀偏转，进而造成：
成像漂移、失焦与畸变
曝光成像偏差与误差
离子/电子束定位不准确，影响制程与分析精度

这些问题对以下设备尤其严重：
透射电子显微镜（TEM）
场发射扫描电子显微镜/聚焦离子束显微镜（SEM/FIB）
电子束光刻/曝光系统（EBL）

SC24双套主动消磁系统的解决方案

SC24采用双轴补偿线圈与多点磁场感测架构，透过高频率（DC-5000Hz）实时监测与补偿，可针对非均匀磁场与梯度进行动态校正。其特点包括：
双回路补偿架构：可在多轴方向补偿磁场与其梯度，达到全空间主动抑制效果。
空间磁场梯度感测技术：可准确捕捉场地中磁场差异，提供区域性精准补偿。
数字控制与回授系统：持续监控并实时调整输出，确保磁场稳定。

主动消磁 vs 被动屏蔽：专业比较

项目	主动双消磁系统	被动屏蔽
对时变磁场干扰的反应能力	针对空间磁场实时进行补偿	无主动补偿功能
系统弹性与可扩充性	可针对不同仪器、空间进行客制化设计	固定结构，需结构性施工，不易变更
安装施工与空间要求	安装简便，无需建筑改造	安装复杂，需厚墙体与特殊建材
成本效益	一次性投资，降低场地施工成本，可随仪器移转重用	材料与施工成本高迁移困难
长期维护与管理	可透过软件进行远程监控与调校	无法调整
与高灵敏电子束仪器的兼容性	特别针对 TEM、SEM、FIB、EBL 等设计，适用于极高解析应用	仅能作为基础隔离