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直流磁场干扰对电子显微镜和电子束光刻设备的影响

在电子显微镜或电子束光刻设备附近,直流磁场强度的变化可能降低影像品质(如:导致影像失真、模糊或漂移)并影响生产效率。直流磁场变化的常见来源包括电梯、火车、卡车和金属门。针对这些直流磁场干扰问题的解决方法,通常依据每个实验室的设计和设备配置的不同而有所调整。

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应用专栏插图3

磁场干扰EMI:瞭解并减轻交流和直流磁场

直流(DC)和交流(AC)磁场会产生磁场干扰,从而降低电子显微镜和电子束微影设备的性能,可以同时处理直流和交流的主动消磁系统是最简单且具成本效益的解决方案。本篇将将说明什么是直流磁场和交流磁场,以及磁场干扰如何影响各实验室的设备。

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应用专栏插图5

磁场屏蔽技术推进半导体微型元件研发制程

磁场屏蔽技术对于半导体制程颇具重要性。半导体产业不断投入微型元件的研发,其工厂通常采用吊顶式单轨系统,以在站点之间运输组件以进行自动装载和加工,这些高架系统通常会产生9 kHz的磁场,这对成像品质产生极大负面影响,必须将其消除以提高解析度,恢复电子显微镜原有的效能。

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