应用专栏​

主动消磁器

SC22/24/26/主动消磁器,实验室磁场“清道夫”

主动消磁器在现代科技领域,尤其是在电子束设备的应用中扮演着至关重要的角色。随着电子束设备对环境磁场及其动态变化敏感性的增加,主动消磁器成为了确保设备性能稳定的关键组件。在众多主动消磁器型号中,英国Spicer推出的SC22、SC24和SC26以其优越的性能和广泛的应用范围,成为了众多实验室的优选。

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应用专栏插图1

EMI消除系统的工作原理

EMI消除系统侦测电子束柱或感测器位置的磁场。通过精密设计的线圈布局,该系统能够生成与环境磁场相等且方向相反的磁场,使环境磁场与EMI消除系统产生的磁场互相抵消,达到消除效果。设备相关因素会影响EMI消除。例如,电子束的长度决定其对外部磁场干扰的灵敏度。

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主动消磁设备

主动消磁设备SC26,精准控制高效消除磁场干扰

SC26作为Spicer Consulting公司倾力打造的主动消磁设备,是专为满足现代科研与工业制造领域对高精度磁场控制需求的精研之作。它不仅继承前代产品的优势,更在性能与技术层面得到显著提升,成为电子显微镜实验室、半导体制造工厂等更多高精尖领域的理想选择。

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主动消磁设备

主动消磁设备2X SC24,打造稳定低磁环境

2X SC24主动式消磁系统,由欧洲知名厂商Spicer Consulting精心打造,专为满足透射电子显微镜(TEM)等高精密科研设备对磁场环境的严苛要求而设计。该主动消磁设备系统集成了两台高性能的SC24主动式消磁器,配合精密的磁场探头及三轴线圈系统,能够在复杂多变的磁场环境中,为科研工作者提供一个稳定、低磁干扰的实验平台。

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磁场消除系统

SC24 Plus磁场消除系统,守护高精设备稳定运行

磁场消除系统是现代科技领域中常见的角色,特别是在需要高精度测量和电子设备稳定运行的环境中作用更是不可替代。SC24 Plus作为新一代主动式磁场消除系统的优秀产品,以其卓越的性能和全面的功能,为众多科研实验室和工业应用提供了理想的解决方案。

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应用专栏插图6
Applications

直流磁场干扰对电子显微镜和电子束光刻设备的影响

在电子显微镜或电子束光刻设备附近,直流磁场强度的变化可能降低影像品质(如:导致影像失真、模糊或漂移)并影响生产效率。直流磁场变化的常见来源包括电梯、火车、卡车和金属门。针对这些直流磁场干扰问题的解决方法,通常依据每个实验室的设计和设备配置的不同而有所调整。

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应用专栏插图9
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磁场干扰EMI:瞭解并减轻交流和直流磁场

直流(DC)和交流(AC)磁场会产生磁场干扰,从而降低电子显微镜和电子束微影设备的性能,可以同时处理直流和交流的主动消磁系统是最简单且具成本效益的解决方案。本篇将将说明什么是直流磁场和交流磁场,以及磁场干扰如何影响各实验室的设备。

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应用专栏插图11
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磁场屏蔽技术推进半导体微型元件研发制程

磁场屏蔽技术对于半导体制程颇具重要性。半导体产业不断投入微型元件的研发,其工厂通常采用吊顶式单轨系统,以在站点之间运输组件以进行自动装载和加工,这些高架系统通常会产生9 kHz的磁场,这对成像品质产生极大负面影响,必须将其消除以提高解析度,恢复电子显微镜原有的效能。

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应用专栏插图12
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主动式双消磁系统:解决铁电材料研究中的磁场干扰问题

在Spectra 300 TEM上安装了2X SC24主动双消磁系统后,外部干扰已经明显改善。透过四颗磁场探头所取得的资料,可见在高度3公尺至0.5公尺范围内不论是X、Y、 Z方向其数值皆低于20nT。故Spectra 300 TEM可不受磁场干扰影响,而能以最高倍率运作、取得高品质影像。

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应用专栏插图13
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电子显微镜的安装规划 – 如何减少或消除干扰

为了不断提高电子显微镜解析度和成像品质,制造商的环境规范变得越来越严格,配备光谱仪的高阶显微镜只能承受高达10 或20 奈米特斯拉的干扰;在无法迁移其他设备并重新安置所有设施的情况下,可以采取不同措施来应对震动和磁场的严重性并抵消其影响。

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应用专栏插图14
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电镜环境量测系统如何选择?场地分析SC11、长期监测SC28

在许多情况下,我们必须对环境做量测或监控,以确保环境在符合标准的磁场、震动、声波等范围内。例如:在安装电子显微镜、电子束微影系统、CD-SEM 和聚焦离子束显微镜等仪器之前的环境评估、找出实验室设备运作问题的原因、长期维持敏感设备稳定度等等。

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应用专栏插图15
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电子显微镜环境干扰因素的探讨与解决方案

SEM、TEM电子显微镜是现今微米、奈米科技研发与检验的重要工具,用来观测微结构的表面形貌和物质的元素组成,然而环境周围的电磁干扰、震动、噪音也会对电子显微镜的性能造成影响,如何有效量测并分析环境具有哪些干扰因子并将干扰程度数据化,以帮助研究员选择对应的解决方案,成为了现代科学中一门重要的课题…

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