直流(DC)和交流(AC)磁场会产生磁场干扰，从而降低电子显微镜和电子束微影设备的性能，可以同时处理直流和交流的主动消磁系统是最简单且具成本效益的解决方案。本篇将将说明什么是直流磁场和交流磁场，以及磁场干扰如何影响各实验室的设备。

智能检测仪SC11、SC28挟带其优势已成为国内外科技大厂所使用，用于测量包含CD-SEM、EBL或其它半导体设备的环境参数以确保符合规定。多功能整合的智能软体满足：磁场强度测试、震动三轴测量、声音分贝检测，当下即可看测量的参数变化。

磁场屏蔽技术对于半导体制程颇具重要性。半导体产业不断投入微型元件的研发，其工厂通常采用吊顶式单轨系统，以在站点之间运输组件以进行自动装载和加工，这些高架系统通常会产生9 kHz的磁场，这对成像品质产生极大负面影响，必须将其消除以提高解析度，恢复电子显微镜原有的效能。

在Spectra 300 TEM上安装了2X SC24主动双消磁系统后，外部干扰已经明显改善。透过四颗磁场探头所取得的资料，可见在高度3公尺至0.5公尺范围内不论是X、Y、 Z方向其数值皆低于20nT。故Spectra 300 TEM可不受磁场干扰影响，而能以最高倍率运作、取得高品质影像。

为了不断提高电子显微镜解析度和成像品质，制造商的环境规范变得越来越严格，配备光谱仪的高阶显微镜只能承受高达10 或20 奈米特斯拉的干扰；在无法迁移其他设备并重新安置所有设施的情况下，可以采取不同措施来应对震动和磁场的严重性并抵消其影响。

在许多情况下，我们必须对环境做量测或监控，以确保环境在符合标准的磁场、震动、声波等范围内。例如：在安装电子显微镜、电子束微影系统、CD-SEM 和聚焦离子束显微镜等仪器之前的环境评估、找出实验室设备运作问题的原因、长期维持敏感设备稳定度等等。

SEM、TEM电子显微镜是现今微米、奈米科技研发与检验的重要工具，用来观测微结构的表面形貌和物质的元素组成，然而环境周围的电磁干扰、震动、噪音也会对电子显微镜的性能造成影响，如何有效量测并分析环境具有哪些干扰因子并将干扰程度数据化，以帮助研究员选择对应的解决方案，成为了现代科学中一门重要的课题…

2023年半导体虽然面临后疫情时代的市场挑战，先进制程微缩仍是半导体制造业的发展趋势，其中电子束微影（Electron Beam Lithography，简称EBL）更是具潜力发展的技术之一，其应用范围包含：微小电子元件、生物芯片、光学元件、量子器件、奈米结构材料、微型机械结构等领域。因此，如何在复杂技术中提高良率以降低成本，解决电磁干扰等环境问题至关重要。

在半导体产业中，电子显微镜是品质控管(Quality Control，简称QC)的重要工具，工程师们透过电子显微镜对晶片做微观结构分析，找出可能存在的问题与缺陷，以优化产品制程。随着微电子元件、微控制器的「微」时代来临，半导体制程需要更高倍率、更高解析的成像品质。然而，来自于外部环境的众多干扰，让高解析度成为一项挑战。