应用专栏​

应用专栏插图1

磁场屏蔽技术推进半导体微型元件研发制程

磁场屏蔽技术对于半导体制程颇具重要性。半导体产业不断投入微型元件的研发,其工厂通常采用吊顶式单轨系统,以在站点之间运输组件以进行自动装载和加工,这些高架系统通常会产生9 kHz的磁场,这对成像品质产生极大负面影响,必须将其消除以提高解析度,恢复电子显微镜原有的效能。

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应用专栏插图3

电子显微镜的安装规划 – 如何减少或消除干扰

为了不断提高电子显微镜解析度和成像品质,制造商的环境规范变得越来越严格,配备光谱仪的高阶显微镜只能承受高达10 或20 奈米特斯拉的干扰;在无法迁移其他设备并重新安置所有设施的情况下,可以采取不同措施来应对震动和磁场的严重性并抵消其影响。

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应用专栏插图5

电子显微镜环境干扰因素的探讨与解决方案

SEM、TEM电子显微镜是现今微米、奈米科技研发与检验的重要工具,用来观测微结构的表面形貌和物质的元素组成,然而环境周围的电磁干扰、震动、噪音也会对电子显微镜的性能造成影响,如何有效量测并分析环境具有哪些干扰因子并将干扰程度数据化,以帮助研究员选择对应的解决方案,成为了现代科学中一门重要的课题…

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