应用专栏

磁场测试、震动测量、噪声检测等仪器如何选?科技大厂选择Spicer智能检测仪的原因
智能检测仪SC11、SC28挟带其优势已成为国内外科技大厂所使用,用于测量包含CD-SEM、EBL或其它半导体设备的环境参数以确保符合规定。多功能整合的智能软体满足:磁场强度测试、震动三轴测量、声音分贝检测,当下即可看测量的参数变化。

磁场屏蔽技术推进半导体微型元件研发制程
磁场屏蔽技术对于半导体制程颇具重要性。半导体产业不断投入微型元件的研发,其工厂通常采用吊顶式单轨系统,以在站点之间运输组件以进行自动装载和加工,这些高架系统通常会产生9 kHz的磁场,这对成像品质产生极大负面影响,必须将其消除以提高解析度,恢复电子显微镜原有的效能。

主动式双消磁系统:解决铁电材料研究中的磁场干扰问题
在Spectra 300 TEM上安装了2X SC24主动双消磁系统后,外部干扰已经明显改善。透过四颗磁场探头所取得的资料,可见在高度3公尺至0.5公尺范围内不论是X、Y、 Z方向其数值皆低于20nT。故Spectra 300 TEM可不受磁场干扰影响,而能以最高倍率运作、取得高品质影像。

电子显微镜的安装规划 – 如何减少或消除干扰
为了不断提高电子显微镜解析度和成像品质,制造商的环境规范变得越来越严格,配备光谱仪的高阶显微镜只能承受高达10 或20 奈米特斯拉的干扰;在无法迁移其他设备并重新安置所有设施的情况下,可以采取不同措施来应对震动和磁场的严重性并抵消其影响。

电镜环境量测系统如何选择?场地分析SC11、长期监测SC28
在许多情况下,我们必须对环境做量测或监控,以确保环境在符合标准的磁场、震动、声波等范围内。例如:在安装电子显微镜、电子束微影系统、CD-SEM 和聚焦离子束显微镜等仪器之前的环境评估、找出实验室设备运作问题的原因、长期维持敏感设备稳定度等等。

电子显微镜环境干扰因素的探讨与解决方案
SEM、TEM电子显微镜是现今微米、奈米科技研发与检验的重要工具,用来观测微结构的表面形貌和物质的元素组成,然而环境周围的电磁干扰、震动、噪音也会对电子显微镜的性能造成影响,如何有效量测并分析环境具有哪些干扰因子并将干扰程度数据化,以帮助研究员选择对应的解决方案,成为了现代科学中一门重要的课题…