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实验室中的噪声:理解问题并找到解决办法

实验室噪音来源包含从空调设备等日常设备到使用中的机械等更复杂来源。噪音可能对实验的准确性产生不利影响,导致错误的结果。透过适当的设备隔离和维护可以创造一个安全、安静的实验室环境。勀杰科技提供防噪解决方案——Herzan电镜隔音箱采用不绣钢外壳和支架设计

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应用专栏插图1

了解并减轻设备所处环境的震动干扰

低频和高频震动对电子束仪器或半导体设备都会产生重大影响。设备外部的震动源通常会造成低频震动,较大的脉冲会激发低频地面共振, 一些例子包括交通、减速带、建筑或火车。高频震动来源通常源自于设备内部。例如:帮浦、冷却器、风扇或HVAC系统。勀杰科技代理Herz AVI主动防震系统

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主动消磁设备

主动消磁设备:SC26——半导体制造中的磁场管理专家

在高科技飞速发展的今天,半导体制造业作为信息技术的基础支撑,对生产环境的洁净度和磁场控制提出了极高的要求。特别是在300mm晶圆的生产线上,晶圆运输工具在高速移动过程中产生的高频磁场若得不到有效管理,将直接影响电子束设备的精度和稳定性,进而影响芯片的生产质量和良率。为了应对这一挑战,主动消磁设备应运而生,其中SC26以其卓越的性能和广泛的应用,成为了半导体制造领域磁场管理的佼佼者。

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主动式消磁系统

SC24 Plus,主动式消磁系统的新典范

在追求极致精确度的科学研究与工业生产领域,诸如电子显微镜等高端设备对环境磁场的要求极为严苛。任何微小的磁场干扰均可能对实验结果或产品质量产生重大影响。在这种背景下,主动式消磁系统应运而生。SC24 Plus主动式消磁系统凭借其卓越的性能和全面的功能,已成为众多用户之首选。

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磁场消除系统

SC24磁场消除系统:电子显微镜的精准守护者

在科研领域,对微观世界的深入探索是科研工作者持续追求的目标。电子显微镜作为关键的实验工具,其成像的高分辨率和稳定性对于科研成果的取得具有重要作用。然而,外部磁场的干扰经常成为影响电子显微镜性能的主要障碍。

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应用专栏插图6
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如何提高电子束微影的良率:掌握消磁器选择的关键

2023年半导体虽然面临后疫情时代的市场挑战,先进制程微缩仍是半导体制造业的发展趋势,其中电子束微影(Electron Beam Lithography,简称EBL)更是具潜力发展的技术之一,其应用范围包含:微小电子元件、生物芯片、光学元件、量子器件、奈米结构材料、微型机械结构等领域。因此,如何在复杂技术中提高良率以降低成本,解决电磁干扰等环境问题至关重要。

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突破电子显微镜成像瓶颈—新SC24 Plus全面监控多种环境干扰、消除EMI问题
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突破电子显微镜成像瓶颈—新SC24 Plus全面监控多种环境干扰、消除EMI问题

在半导体产业中,电子显微镜是品质控管(Quality Control,简称QC)的重要工具,工程师们透过电子显微镜对晶片做微观结构分析,找出可能存在的问题与缺陷,以优化产品制程。随着微电子元件、微控制器的「微」时代来临,半导体制程需要更高倍率、更高解析的成像品质。然而,来自于外部环境的众多干扰,让高解析度成为一项挑战。

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剑桥大学电子显微镜安装消磁系统特殊案例
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剑桥大学电子显微镜安装消磁系统特殊案例

当剑桥大学生物化学系准备安装Thermo Fisher Titan Krios电子显微镜时,该位置被量测出有磁场干扰的问题。由于Krios的液碳氮设备较大,需要保持地板通道通畅,Spicer Consulting的团队面临着无法在地面上铺设线圈的的挑战…

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应用专栏插图14
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伦敦国王学院电子显微镜环境量测

Spicer Consulting的Robert Christy博士在KCL的超微结构成像中心(CUI)谈论电子显微镜环境调查。我们正在伦敦国王学院(King’s College London)为一些高阶精密仪器测量环境。规划的场地约有五个房间的空间大小…

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