应用专栏

Herzan电镜隔音箱,为科研精准保驾护航
Herzan电镜隔音箱是为电子显微镜,比如扫描电子显微镜SEM和透射电子显微镜TEM等声学敏感研究仪器设计的隔音解决方案,为其工作提供一个安静、稳定的环境,以最大限度地提高测量精度和数据质量。随着电子显微镜技术的不断发展,对实验环境的噪音控制要求也日益提高,Herzan电镜隔音箱响应需求,成为众多科研机构和实验室的理想选择。

SC11磁场分析仪,实验室内的精准测量利器
在科学研究、工业制造以及环境监测等众多领域,磁场、震动和噪音等影响因素的测量与分析是不可或缺的一环。为了满足这一需求,英国Spicer Consulting公司推出了SC11磁场分析仪,这是一款专为实验室环境设计的精密测量仪器,以其高度的准确性、灵活性和易用性,赢得了广泛的市场认可。

减少电子显微镜实验室中机械设备的震动
实验室通常有震动设备,这些设备会对电子显微镜影像造成干扰。这些来源包括冷却器、泵浦、变压器等。遵循一些基本准则有助于减少震动对影像品质的影响。

SC22/24/26/主动消磁器,实验室磁场“清道夫”
主动消磁器在现代科技领域,尤其是在电子束设备的应用中扮演着至关重要的角色。随着电子束设备对环境磁场及其动态变化敏感性的增加,主动消磁器成为了确保设备性能稳定的关键组件。在众多主动消磁器型号中,英国Spicer推出的SC22、SC24和SC26以其优越的性能和广泛的应用范围,成为了众多实验室的优选。

EMI消除系统的工作原理
EMI消除系统侦测电子束柱或感测器位置的磁场。通过精密设计的线圈布局,该系统能够生成与环境磁场相等且方向相反的磁场,使环境磁场与EMI消除系统产生的磁场互相抵消,达到消除效果。设备相关因素会影响EMI消除。例如,电子束的长度决定其对外部磁场干扰的灵敏度。

主动消磁设备SC26,精准控制高效消除磁场干扰
SC26作为Spicer Consulting公司倾力打造的主动消磁设备,是专为满足现代科研与工业制造领域对高精度磁场控制需求的精研之作。它不仅继承前代产品的优势,更在性能与技术层面得到显著提升,成为电子显微镜实验室、半导体制造工厂等更多高精尖领域的理想选择。

Spicer主动消磁设备,高端电子显微镜磁场干扰的完美解决方案
随着电子显微镜和高精度设备在科研与工业中的广泛应用,电磁干扰对实验数据准确性的影响日益显现。尤其是在电子显微镜成像中,外界环境的电磁场波动可能导致图像模糊、变形甚至出现误差,直接影响科研工作的质量和效率。

主动式消磁系统,为电子显微镜提供稳定的成像体验
在高端电子显微镜的应用中,磁场干扰一直是影响成像质量和设备性能的核心难题。尤其是在磁场强度高或环境磁场梯度大的实验室中,磁场波动会直接导致成像失真,甚至对设备运行产生严重影响。

磁场干扰EMI:瞭解并减轻交流和直流磁场
直流(DC)和交流(AC)磁场会产生磁场干扰,从而降低电子显微镜和电子束微影设备的性能,可以同时处理直流和交流的主动消磁系统是最简单且具成本效益的解决方案。本篇将将说明什么是直流磁场和交流磁场,以及磁场干扰如何影响各实验室的设备。

磁场测试、震动测量、噪声检测等仪器如何选?科技大厂选择Spicer智能检测仪的原因
智能检测仪SC11、SC28挟带其优势已成为国内外科技大厂所使用,用于测量包含CD-SEM、EBL或其它半导体设备的环境参数以确保符合规定。多功能整合的智能软体满足:磁场强度测试、震动三轴测量、声音分贝检测,当下即可看测量的参数变化。

磁场屏蔽技术推进半导体微型元件研发制程
磁场屏蔽技术对于半导体制程颇具重要性。半导体产业不断投入微型元件的研发,其工厂通常采用吊顶式单轨系统,以在站点之间运输组件以进行自动装载和加工,这些高架系统通常会产生9 kHz的磁场,这对成像品质产生极大负面影响,必须将其消除以提高解析度,恢复电子显微镜原有的效能。

主动式双消磁系统:解决铁电材料研究中的磁场干扰问题
在Spectra 300 TEM上安装了2X SC24主动双消磁系统后,外部干扰已经明显改善。透过四颗磁场探头所取得的资料,可见在高度3公尺至0.5公尺范围内不论是X、Y、 Z方向其数值皆低于20nT。故Spectra 300 TEM可不受磁场干扰影响,而能以最高倍率运作、取得高品质影像。

电子显微镜的安装规划 – 如何减少或消除干扰
为了不断提高电子显微镜解析度和成像品质,制造商的环境规范变得越来越严格,配备光谱仪的高阶显微镜只能承受高达10 或20 奈米特斯拉的干扰;在无法迁移其他设备并重新安置所有设施的情况下,可以采取不同措施来应对震动和磁场的严重性并抵消其影响。

电镜环境量测系统如何选择?场地分析SC11、长期监测SC28
在许多情况下,我们必须对环境做量测或监控,以确保环境在符合标准的磁场、震动、声波等范围内。例如:在安装电子显微镜、电子束微影系统、CD-SEM 和聚焦离子束显微镜等仪器之前的环境评估、找出实验室设备运作问题的原因、长期维持敏感设备稳定度等等。

电子显微镜环境干扰因素的探讨与解决方案
SEM、TEM电子显微镜是现今微米、奈米科技研发与检验的重要工具,用来观测微结构的表面形貌和物质的元素组成,然而环境周围的电磁干扰、震动、噪音也会对电子显微镜的性能造成影响,如何有效量测并分析环境具有哪些干扰因子并将干扰程度数据化,以帮助研究员选择对应的解决方案,成为了现代科学中一门重要的课题…

如何提高电子束微影的良率:掌握消磁器选择的关键
2023年半导体虽然面临后疫情时代的市场挑战,先进制程微缩仍是半导体制造业的发展趋势,其中电子束微影(Electron Beam Lithography,简称EBL)更是具潜力发展的技术之一,其应用范围包含:微小电子元件、生物芯片、光学元件、量子器件、奈米结构材料、微型机械结构等领域。因此,如何在复杂技术中提高良率以降低成本,解决电磁干扰等环境问题至关重要。