应用专栏​

电镜屏蔽系统

电镜屏蔽系统SC22有效应对AC干扰

在实际使用中,高精度电子束设备对环境磁场及其动态变化极为敏感。环境磁场的干扰会导致电子束发生偏移,进而降低设备的分辨率和测量精度。而SC22电镜屏蔽系统是一种专门设计用于三维空间的交流磁场补偿系统,它利用传感器监测空间中的交流磁场及其变化,控制器则通过三维空间线圈产生相应的反磁场,

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应用专栏插图1

主动隔振台与被动隔振台有何差异

隔振台广泛应用于电子显微镜、半导体以及显示器制造等各类产业。为了减少环境振动对设备性能的影响,了解主动隔振台与被动隔振台的差异至关重要。被动隔振台利用弹簧和阻尼器的自然特性来减少振动;而主动隔振台则使用带有集成传感器和执行器的控制系统,实现对低频振动更为有效的控制。

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应用专栏插图2

直流磁场干扰对电子显微镜和电子束光刻设备的影响

在电子显微镜或电子束光刻设备附近,直流磁场强度的变化可能降低影像品质(如:导致影像失真、模糊或漂移)并影响生产效率。直流磁场变化的常见来源包括电梯、火车、卡车和金属门。针对这些直流磁场干扰问题的解决方法,通常依据每个实验室的设计和设备配置的不同而有所调整。

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应用专栏插图5

磁场干扰EMI:瞭解并减轻交流和直流磁场

直流(DC)和交流(AC)磁场会产生磁场干扰,从而降低电子显微镜和电子束微影设备的性能,可以同时处理直流和交流的主动消磁系统是最简单且具成本效益的解决方案。本篇将将说明什么是直流磁场和交流磁场,以及磁场干扰如何影响各实验室的设备。

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